ادامه مطلب
دیسپرس اولتراسونیک عوامل پولیش‌دهنده (CMP):
اندازه غیر یکنواخت ذرات و توزیع غیر همگن اندازه ذرات می‌تواند در طول فرآیندCMP باعث آسیب شدید به سطح پولیش‌شده شود. پراکندگی اولتراسونیک یک روش پیشرفته برای پراکنده کردن و جدا کردن ذرات پولیش با اندازه نانو است. پراکندگی یکنواختی که با سونیکاسیون ایجاد می‌شود، باعث می‌شود فرآیند CMP روی سطوح با کیفیت بالاتری انجام شود و از ایجاد خراش یا نقص ناشی از دانه‌های بزرگ جلوگیری گردد.
